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플라즈마 시스템
Best for High Quality
플라즈마 박막 Thin Film 제조용 전원장치 Pegasus Series
DSP Control High Frequency Power System.
고주파 스위칭 방식의 컴팩트한 사이즈로 플라즈마에서 발생하는 각종 아크 (Arc), 스파크 (Spark) 등을 빠르게 차단하여 안정적 운전이 가능한 고효율 전원장치.
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고속 아크 감지 및 차단 : 낮은 아크 에너지 Ignition 회로 내장
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고효율 : 역률 95% 이상, 효율 90% 이상
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다양한 출력 제어 모드 : 전압, 전류, 전력
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다양한 유저 인터페이스 : Local, Remote, Host 운전
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저 노이즈 : 고주파 공진형 스위치 방식, 입.출력 EMI 필터 장착
플라즈마 전원장치 특징
플라즈마 전원장치 연결
아크 차단 특성 비교
플라즈마 전원장치 Pegasus Series 사양
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Sputtering DC Series
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Sputtering Bias Series
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Arc Ion Plating Series
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